晶圓等離子清洗機(jī)原理
文章導(dǎo)讀:晶圓等離子清洗機(jī)是應(yīng)用在晶圓及半導(dǎo)體封裝行業(yè)的設(shè)備,隨著技術(shù)革新,工藝進(jìn)步,半導(dǎo)體器件制造商進(jìn)一步縮小尺寸,提高封裝器件的可靠性,晶圓等離子清洗機(jī)也得到了更多的應(yīng)用,那么它為什么受到廠商的喜愛(ài)呢?
晶圓等離子清洗機(jī)是應(yīng)用在晶圓及半導(dǎo)體封裝行業(yè)的設(shè)備,隨著技術(shù)革新,工藝進(jìn)步,半導(dǎo)體器件制造商進(jìn)一步縮小尺寸,提高封裝器件的可靠性,晶圓等離子清洗機(jī)也得到了更多的應(yīng)用,那么它為什么受到廠商的喜愛(ài)呢?
一、晶圓等離子清洗機(jī)原理
晶圓等離子清洗機(jī)是一種通過(guò)等離子體進(jìn)行表面處理的工藝,功能非常豐富,可以做到超潔凈清洗、活化、刻蝕、涂覆等多種用途;
清洗:去除晶圓表面的污染物;
活化:提高晶圓表面粘接力;
刻蝕:通過(guò)等離子體刻蝕出線路;
涂覆:粘接力提高后,涂層可以均勻涂覆在上面;
二、晶圓等離子清洗機(jī)應(yīng)用
在UBM中,BCB與UBM的粘附等離子體處理改變晶片的鈍化層的形態(tài)和潤(rùn)濕作用。高分子材料,例如苯并環(huán)丁烯(BCB)和UBM,在晶片的介電層中重新分布。等離子體清洗機(jī)處理使硅片初始鈍化層形態(tài)發(fā)生變化,潤(rùn)濕性增強(qiáng)。介質(zhì)圖案形成再分配層的典型方法包括采用典型光刻方法對(duì)介質(zhì)再分配材料進(jìn)行圖案化。晶圓等離子清洗機(jī)是介質(zhì)圖案化的可行替代方法,并可避免傳統(tǒng)的濕法處理。
同時(shí)晶圓等離子清洗機(jī)能夠解決晶圓、銅引線框架、PCB基板、金屬基板、金手指等產(chǎn)品的表面處理難題,在黏晶、焊線、鍵合、打線、塑封等工藝中起作用,歡迎需要的用戶聯(lián)系我們。

晶圓等離子清洗機(jī)是一種通過(guò)等離子體進(jìn)行表面處理的工藝,功能非常豐富,可以做到超潔凈清洗、活化、刻蝕、涂覆等多種用途;
清洗:去除晶圓表面的污染物;
活化:提高晶圓表面粘接力;
刻蝕:通過(guò)等離子體刻蝕出線路;
涂覆:粘接力提高后,涂層可以均勻涂覆在上面;

在UBM中,BCB與UBM的粘附等離子體處理改變晶片的鈍化層的形態(tài)和潤(rùn)濕作用。高分子材料,例如苯并環(huán)丁烯(BCB)和UBM,在晶片的介電層中重新分布。等離子體清洗機(jī)處理使硅片初始鈍化層形態(tài)發(fā)生變化,潤(rùn)濕性增強(qiáng)。介質(zhì)圖案形成再分配層的典型方法包括采用典型光刻方法對(duì)介質(zhì)再分配材料進(jìn)行圖案化。晶圓等離子清洗機(jī)是介質(zhì)圖案化的可行替代方法,并可避免傳統(tǒng)的濕法處理。

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