微波等離子清洗機原理
文章導(dǎo)讀：微波等離子清洗機是一款表面處理設(shè)備，設(shè)備通過等離子體對物體表面進行清洗處理，解決表面各類處理難題；設(shè)備通過工藝參數(shù)的調(diào)整以適應(yīng)不同行業(yè)的生產(chǎn)工藝需求。
微波等離子清洗機是一款表面處理設(shè)備，設(shè)備通過等離子體對物體表面進行清洗處理，解決表面各類處理難題；設(shè)備通過工藝參數(shù)的調(diào)整以適應(yīng)不同行業(yè)的生產(chǎn)工藝需求。
一、微波等離子清洗機原理
微波等離子清洗機采用的2.45GHz頻率電源，這種頻率有兩大優(yōu)勢：
1、離子濃度：這個頻率的濃度比射頻等離子濃度高，等離子數(shù)量遠(yuǎn)遠(yuǎn)超多視頻電源，這讓反應(yīng)速度更多，反應(yīng)時間更短；
2、自偏壓：等離子自然特性是可以在直接暴露于等離子的基材上生成一種自偏壓，這種自偏壓要取決于等離子的激勵頻率.比如頻率為2.45GHz的微波一般僅要求5.1 5伏.而在同樣的情況下，RF等離子自偏壓卻要求100伏。
二、微波等離子清洗機亮點
等離子體與材料表面產(chǎn)生的物理反應(yīng)主要是利用離子作純物理的撞擊，把材料表面的原子或附著材料表面的離子打掉，因而在物理撞擊時，離子的能量越高，越容易產(chǎn)生撞擊，所以若要以物理反應(yīng)為主時，就必須控制較低的壓力下來進行反應(yīng)，這樣清洗效果較好。
等離子清洗效果能夠處理形狀復(fù)雜、精密而又很難清洗的零部件，如：空穴、凹槽、狹縫、微孔等等部位，同時干式處理方式無需液體介質(zhì)，能夠避免濕法清洗帶來的二次污染。
微波等離子清洗機采用的2.45GHz頻率電源，這種頻率有兩大優(yōu)勢：
1、離子濃度：這個頻率的濃度比射頻等離子濃度高，等離子數(shù)量遠(yuǎn)遠(yuǎn)超多視頻電源，這讓反應(yīng)速度更多，反應(yīng)時間更短；
2、自偏壓：等離子自然特性是可以在直接暴露于等離子的基材上生成一種自偏壓，這種自偏壓要取決于等離子的激勵頻率.比如頻率為2.45GHz的微波一般僅要求5.1 5伏.而在同樣的情況下，RF等離子自偏壓卻要求100伏。
等離子體與材料表面產(chǎn)生的物理反應(yīng)主要是利用離子作純物理的撞擊，把材料表面的原子或附著材料表面的離子打掉，因而在物理撞擊時，離子的能量越高，越容易產(chǎn)生撞擊，所以若要以物理反應(yīng)為主時，就必須控制較低的壓力下來進行反應(yīng)，這樣清洗效果較好。
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