低壓等離子表面處理機(jī)氣路控制由哪些組成?
文章導(dǎo)讀:低壓等離子表面處理機(jī)對(duì)各功能氣路的控制及工藝氣體穩(wěn)定是有要求的,那么低壓等離子表面處理機(jī)的氣路控制由哪些部件組成的呢?
低壓等離子表面處理機(jī),又稱(chēng)真空等離子表面處理設(shè)備,氣路控制的工藝氣體的流量大小和精準(zhǔn)度對(duì)等離子表面處理效果的影響可不小,那么低壓等離子表面處理機(jī)的氣路控制是由氣體調(diào)壓及處理組件、帶報(bào)警輸出的減壓表、真空電磁閥、流量計(jì)組件組成的。接下來(lái)普樂(lè)斯就為大家詳細(xì)介紹一下,幫助大家增加了解。
一、氣體調(diào)壓及處理組件
一、氣體調(diào)壓及處理組件
低壓等離子表面處理機(jī)通入的氣體通常都是潔凈度相對(duì)較高的工藝氣體,所以氣體調(diào)壓及處理組件根本結(jié)構(gòu)多為調(diào)壓閥和過(guò)濾器組成。其主要作用是將氣壓控制在所需壓力范圍內(nèi)及過(guò)濾氣體中可能含有的雜質(zhì),以確保后端流量計(jì)等組件的運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定性和氣體潔凈度。目前低壓等離子表面處理機(jī)的常用的氣體調(diào)壓及處理組件按結(jié)構(gòu)特色分為組合式和一體式兩種,下圖所示為組合式。

二、帶報(bào)警輸出的減壓表
為實(shí)時(shí)監(jiān)控等離子處理機(jī)的氣體壓力是否契合工作要求,在氣體調(diào)壓閥上都會(huì)裝置帶報(bào)警輸出功用的壓力表,在壓力過(guò)低時(shí)輸出報(bào)警信號(hào),以保證設(shè)備和正常運(yùn)行及工藝氣體的安穩(wěn)。帶報(bào)警輸出的減壓表分為指針式和數(shù)顯式兩種,如下圖所示為指針式。
為實(shí)時(shí)監(jiān)控等離子處理機(jī)的氣體壓力是否契合工作要求,在氣體調(diào)壓閥上都會(huì)裝置帶報(bào)警輸出功用的壓力表,在壓力過(guò)低時(shí)輸出報(bào)警信號(hào),以保證設(shè)備和正常運(yùn)行及工藝氣體的安穩(wěn)。帶報(bào)警輸出的減壓表分為指針式和數(shù)顯式兩種,如下圖所示為指針式。

三、真空電磁閥
低壓等離子表面處理機(jī)在工作時(shí)需保持工藝要求的真空度及真空腔體的密封,因而其銜接腔體的各氣路閥門(mén)有必要滿(mǎn)意真空密封要求,咱們應(yīng)該挑選相匹配的帶氣路控制的真空電磁閥。低壓等離子表面處理機(jī)為確保運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定性,都是一個(gè)真空電磁閥控制一路氣體,所選用的真空電磁閥都是兩位兩通式,如下圖所示。
低壓等離子表面處理機(jī)在工作時(shí)需保持工藝要求的真空度及真空腔體的密封,因而其銜接腔體的各氣路閥門(mén)有必要滿(mǎn)意真空密封要求,咱們應(yīng)該挑選相匹配的帶氣路控制的真空電磁閥。低壓等離子表面處理機(jī)為確保運(yùn)轉(zhuǎn)穩(wěn)定性,都是一個(gè)真空電磁閥控制一路氣體,所選用的真空電磁閥都是兩位兩通式,如下圖所示。

四、流量計(jì)
低壓等離子表面處理機(jī)的進(jìn)氣量是由流量計(jì)所操控的,其原理是經(jīng)過(guò)調(diào)理通入氣體閥門(mén)的大小來(lái)實(shí)現(xiàn)通流量的操控,等離子處理機(jī)運(yùn)用的流量計(jì)分為氣體浮子流量計(jì)和質(zhì)量流量操控器兩種。
以上就是低壓等離子表面處理機(jī)的氣路控制組成部件的介紹,如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問(wèn),歡迎點(diǎn)擊普樂(lè)斯的在線(xiàn)客服進(jìn)行咨詢(xún),或者直接撥打全國(guó)統(tǒng)一服務(wù)熱線(xiàn)400-816-9009,普樂(lè)斯恭候您的來(lái)電!
低壓等離子表面處理機(jī)的進(jìn)氣量是由流量計(jì)所操控的,其原理是經(jīng)過(guò)調(diào)理通入氣體閥門(mén)的大小來(lái)實(shí)現(xiàn)通流量的操控,等離子處理機(jī)運(yùn)用的流量計(jì)分為氣體浮子流量計(jì)和質(zhì)量流量操控器兩種。
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