關(guān)于氮?dú)釪BD等離子清洗機(jī)均勻放電的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)分析
文章導(dǎo)讀:普樂(lè)斯通過(guò)上篇文章講到DBD大氣壓氮?dú)獾入x子清洗機(jī)均勻放電的研究裝置,經(jīng)過(guò)測(cè)試,我們可以得到外加電壓與放電總電流波形圖、氣體間隙的側(cè)面所拍攝的放電圖像,從而能夠得到氣隙電壓和運(yùn)流電流存在的關(guān)系的圖像呈現(xiàn)。
上篇我們介紹了氮?dú)釪BD等離子清洗機(jī)均勻放電的實(shí)驗(yàn)裝置,并且得到充足的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù),通過(guò)整理這些數(shù)據(jù),我們可以得出以下數(shù)據(jù)圖像并對(duì)此進(jìn)行數(shù)據(jù)分析研究,下圖是外加電壓幅值為12kV、頻率3kHz時(shí)得到的典型的外加電壓與放電總電流的波形圖。從圖中可以看出,外加電壓為準(zhǔn)正弦波形;每半個(gè)電壓周期中有一次放電,電流脈沖的幅值約為4.5mA,半高寬約為50μs。

以上是從氣體間隙的側(cè)面所拍攝的放電圖像,從圖中可以看出,間隙中靠近瞬時(shí)陽(yáng)極的阻擋介質(zhì)附近有一個(gè)薄薄的發(fā)光層,沒(méi)有明暗相間的放電細(xì)絲。結(jié)合兩圖所示的電流波形與放電圖像,我們可以判斷該條件下獲得的放電為一種均勻放電。

通過(guò)改變外加電壓Va或關(guān)閉純凈氮?dú)饬鞯牟粩啻等氲确绞?,我們又能夠比較容易地得到下圖所示的大氣壓氮?dú)釪BD等離子清洗機(jī)絲狀放電的典型波形圖和放電圖像非均勻放電。可以看到這種放電與均勻放電有明顯的差異。當(dāng)放電劇烈時(shí),大量的放電細(xì)絲此起彼伏,會(huì)給人的肉眼或長(zhǎng)時(shí)間曝光的相機(jī)造成等離子清洗機(jī)均勻放電的假象,其實(shí)質(zhì)則是絲狀放電。

上圖是按照彭寧電離公式計(jì)算后得到的氣隙電壓和運(yùn)流電流波形圖。由于氮?dú)庵蠨BD均勻放電的強(qiáng)度比較弱,所以不能忽略了位移電流,也就是說(shuō)不能像氦氣中那樣把測(cè)量到的總電流近似作為運(yùn)流電流。從下圖中可讀出運(yùn)流電流的幅值、半高寬等信息。氣隙電壓Vg如圖中粗實(shí)線(xiàn)所示,可以看出它與氦氣中的氣隙電壓Vg有明顯的差異:氮?dú)釪BD等離子清洗機(jī)均勻放電在間隙放電過(guò)程中沒(méi)有下跌反而隨著放電過(guò)程繼續(xù)升高;同時(shí)隨著Vg的持續(xù)升高電流反而很快衰減并熄滅了,這些現(xiàn)象稱(chēng)之為“反常熄滅”。
以上就是關(guān)于氮?dú)釪BD等離子清洗機(jī)均勻放電的實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)分析,希望與大家共同探討。普樂(lè)斯電子9年專(zhuān)注研制DBD等離子設(shè)備,等離子表面處理設(shè)備,已通過(guò)ISO9001質(zhì)量體系和歐盟CE認(rèn)證,為電子、半導(dǎo)體、汽車(chē)、yi療等領(lǐng)域的客戶(hù)提供清洗,活化,刻蝕,涂覆的等離子表面處理解決方案。如果您想要了解更多關(guān)于產(chǎn)品的詳細(xì)內(nèi)容或在設(shè)備使用中有疑問(wèn),歡迎點(diǎn)擊普樂(lè)斯的在線(xiàn)客服進(jìn)行咨詢(xún),或者直接撥打全國(guó)統(tǒng)一服務(wù)熱線(xiàn)400-816-9009,普樂(lè)斯恭候您的來(lái)電!
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